主要分為三種類型
　　1、電解法
　　五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成，根據具體應用來選擇電極材質（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過程的終產物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經過儀器內部信號放大器處理，然后顯示并數據讀出。此原理用來測量所有氣體。包括Cl2、HCl、H2S、H2SO4、HBr、SO2、SF6、CO2等氣體和全部惰性氣體，數會同磷酸發生化學反應的氣體除外。P2O5探頭適用于測量各種惰性氣體、碳氫化合物或根據所選擇的探頭材質應用于HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與樣氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質也可以提供。樣氣以特別的傳遞方式流經探頭，再結合一個高質量的界面。從而確保探頭響應迅速和受干擾影響小，這些設計對于很低的ppm級測量十分重要。流經探頭的樣氣流速通常設置在20Nl/h（100Nl/h可選）。與分析儀的電氣連接器為防水密封結構。用戶可以十分容易的在五分鐘內完成探頭的再生工作。探頭可以通過3個M4螺絲十分容易的安裝在任何地方。優點：測試靈敏度高，適合非常微量的水/痕水測試，同時可以測量腐蝕性氣體。缺點：傳感器需要定期重涂。
　　
　　2、阻容法（電容法）
　　利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優點是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優點是響應速度非常快，從干到濕響應一分鐘可達90%，因而多用于現場和快速測量場合；缺點是精度較差，不確定度多為±2～3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩定度大大提高，通過對傳感器響應曲線的補償作到了飽和線性，解決了自動校準問題。優點：反映速度快。缺點：精度較差。
　　
　　3、冷鏡法
　　讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生‘偽結露’造成測量誤差。優點：精度高。缺點：響應速度慢。
　　
微量水分析儀的技術指標
　　﹡測量范圍：0～25%﹡精度：±2%FS﹡重復性：±1%FS﹡漂移：刻滿度的±2%/周（零點,滿量程）﹡線性度：滿刻度的±1%（模擬量輸出）﹡輸出信號：0～10mA/DC、4～20mA/DC（負載電阻小于1KΩ）與輸出相對應的測量范圍：0～5%，0～10%，0～25%（三檔）﹡響應時間：標準氣體從入口輸出，達90%的響應時間≤5秒﹡使用環境溫度：轉換器-5～50℃檢測器-10℃～80℃﹡采樣氣體溫度：0～700℃（低溫型）800～1400℃（高溫型）﹡采樣氣體壓力：-500～+500mmH2O﹡電源：220V±10%AC50HZ﹡檢測器（探頭）長度規格：0.2m、0.4m、0.6m、0.8m、1.0m、1.2m﹡轉換器盤面開孔尺寸：182±1（B）×254±1mm（H）
　　
微量水分析儀的特點
　　儀器采用電解式原理，對水份測量，勿需校準操作。多參數數字顯示：露點，ppm等。測量池可拆卸，維護方便。遠程安裝傳感器：可安裝在100m之外。